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產(chǎn)品主要用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜。本產(chǎn)品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規(guī)格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控儀PID調(diào)節(jié)（功率調(diào)節(jié)），自動(dòng)測(cè)溫，控溫
外形尺寸280×360×220mm
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